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电容薄膜真空计用金属膜片电容传感器设计（2021年03期 v.42 35-39页）

‖  文章供稿：侯少毅  胡强  卫红  陈浩
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2021年03期 v.42 35-39页

侯少毅  胡强  卫红  陈浩

（季华实验室，广东 佛山 528251）

摘要：金属膜片电容传感器是高精度电容薄膜真空计的关键部分。为满足其国产化需求，以国内研发的某镍基合金膜片材料为基础，研究电容薄膜真空计用金属膜片电容传感器。首先，基于通用有限元分析软件，建立金属膜片电容传感器中感应膜片的计算模型；然后，采用非线性大挠度理论对不同预应力下的感应膜片变形进行计算，并与理论计算结果进行对比，对比结果表明，该计算模型具有较高精度；最后，分析预应力与感应膜片非线性误差关系，并对影响电容薄膜真空计测量特性的预应力、感应膜片与固定极板的初始极距等关键参数进行设计，以满足高精度真空测量的要求。

关键词：电容薄膜真空计；感应膜片；预应力；初始极距

中图分类号：TB771            文献标识码：A            文章编号：1674-2605(2021)03-0007-05

DOI：10.3969/j.issn.1674-2605.2021.03.007

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