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扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准及不确定度评定(2021年04期 v.42 33-36+41页)

‖  文章供稿：韩强  骆彬威  张欣宇
‖  字体： [大] [中] [小]

2021年04期 v.42 33-36+41页

韩强1  骆彬威1  张欣宇1,2

（1.广东省计量科学研究院，广东 广州 510405

2.广东省现代几何与力学计量技术重点实验室，广东 广州 510405）

摘要：扫描电子显微镜是用于微观表面形貌观察、显微结构分析以及微纳米几何尺寸测量的常用分析仪器。由于仪器扫描图像时易出现放大倍率的偏差，导致图像畸变以及测长不准等问题，因此放大倍数示值误差是该类仪器校准的主要计量特性。利用微米至亚微米尺度一维线间距标样实现对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准，并对校准结果的不确定度进行评定。

关键词：扫描电子显微镜；格栅间距；放大倍数；示值误差；不确定度

中图分类号：TB92；TN16      文献标识码：A            文章编号：1674-2605(2021)04-0008-05

DOI：10.3969/j.issn.1674-2605.2021.04.008

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